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測試精度高：高達 100nV/10fA 分辨率，電流量測精度最高可達 0.1%+50pA，電壓量測精度最高可 達 0.015%+300uV；提供正向/反向電流連續(xù)變化測試，提高測試精度。

  2）方形四探針法（如范德堡法）

  范德堡法適用于扁平，厚度均勻，任意形狀且不含有任何隔離孔的樣品材料測試。相比較直線型四探 針法，對樣品形狀沒有要求。測試中，四個探針接觸點必須位于樣品的邊緣位置，測試接線方式也是在其 中兩個探針點提供恒定電流，另外兩個點量測電壓。圍繞樣品進行 8 次測量，對這些讀數(shù)進行數(shù)學組合來 決定樣品的平均電阻率。詳細測試方法可參見 ASTM 標準 F76。

  總結(jié)：利用 IT2800 系列高精密源/測量單元可以精準實現(xiàn)半導體薄層電阻的電阻率測試，為半導體制 造工藝的改進提供數(shù)據(jù)依據(jù)。IT2800 SMU 因其高精度測量和豐富的探針臺治具優(yōu)勢，為行業(yè)提供專業(yè)的 測試解決方案。